在为洁净室选择工业真空吸尘器时，很多人并没有意识到真空过滤系统的重要性。其实你真正需要的是超级过滤器而不是真空吸尘器，而且因为现有真空洁净室吸尘器的过滤系统之间的差别很大，所以在选择符合自己要求的吸尘器时，必须搞清楚自己到底需要什么。

首先，所有在洁净室中使用的真空洁净室吸尘器都必须具备HEPA过滤功能，保证过滤掉99.97%尺寸低达0.3微米的粒子。此外，HEPA过滤器必须装在马达后面、过滤排出来的气流，这一点非常重要。马达的换向器和碳刷会产生灰尘，而且如果排放出去的气流没有经过过滤，灰尘将直接进入洁净室环境。

除了这些过滤系统，在洁净室吸尘器中使用的吸尘器最好使用不会产生微粒的材料制造。例如，使用配有平滑的软管和连接件的无孔不锈钢吸尘器，工作人员就可以用抹布迅速地擦拭和清洁设备，更快、更简单地完成清洁和确认。虽然许多吸尘器可以耐受压热作用，但是在进行这个项目之前必须让吸尘器制造商先确认一下，否则，有可能会损坏设备。

在购买真空洁净室吸尘器时还必须考虑到溢出响应。至少有一个吸尘器可以进行干、湿两种作业。